分层压印准LIGA工艺中对准系统误差分析和实验研究

• 作者: 向家伟 杨连发 段玉岗 王权岱
• 来源期刊: 装备制造技术
• 学科: 工学
• 关键词: 准LIGA工艺 对准 精度分析
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: TP391.4
• 字数: 3554字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-545X.2010.01.017

摘要

系统分析了分层压印准LIGA工艺中对准系统的误差来源,给出了相应的消减误差的措施,并对经过畸变校正、自动聚焦及环境保障后对准系统的套印精度进行了实验研究,结果表明系统套印精度达到1.5μm,可以满足分层压印准LIGA工艺制作微米级微结构对准的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨连发	桂林电子科技大学机电工程学院	90	582	13.0	19.0
2	向家伟	桂林电子科技大学机电工程学院	31	304	10.0	16.0
3	段玉岗	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	54	368	13.0	16.0
4	王权岱	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	12	83	6.0	9.0