MEMS流体陀螺的研究进展

• 作者: 张卫平 秦奎 陈文元
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: MEMS技术 惯性器件 微流体陀螺 惯性导航
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 所属期刊栏目: 新型元器件
• 页码范围: 172-174
• 分类号: V241.6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2010.10.055

摘要

随着微机电技术(MEMS)的快速发展,惯性器件微陀螺得到了广泛的发展和应用,其中微流体陀螺具有体积小、重量轻、成本低和抗高冲击等独特优点.根据陀螺原理的不同介绍了几种微流体陀螺,包括气体对流微陀螺、射流微陀螺、ECF流体微陀螺和超流体陀螺,气体时流陀螺和射流微陀螺属于常用的典型流体陀螺,而ECF流体陀螺和超流体陀螺属于新型的流体陀螺,分别分析了它们的原理和应用情况,并对它们的应用前景进行了展望,微流体陀螺将在惯性导航和自动控制等方面发挥越来越重要的作用.