多线切割机砂浆控制系统研究

• 作者: 党兰焕 吴序堂 王学军 贺敬良
• 来源期刊: 制造业自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 多线切割机 砂浆流量 PID控制
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 68-70,231
• 分类号: TN305.5
• 字数: 2370字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0134.2010.06.23

摘要

多线切割机是近年来发展非常迅速的一种高效率切割设备,在半导体领域应用广泛,它通过驱动多圈绕制的金属钢线高速旋转,带动喷射在金属钢线上的砂浆对硅材料进行磨削切割,在多线切割机对硅片的切割过程中,砂浆必须保持一定的流量和温度,才能对硅料进行持续高效的切割,砂浆流量的变化会影响切割效率和切割质量,切割过程会产生热量,砂浆在循环过程中必须带走产生的热量,否则热量在砂浆中聚积,对硅片切割会产生不利甚至断线.研究了多线切割机砂浆控制系统,对硅片切割中砂浆流量控制方法进行研究,通过实验验证通过该砂浆控制系统能得到的稳定的流量,砂浆流量波动很小,很好地提高了硅片切割质量及切割成片率,工艺线使用效果良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴序堂	西安交通大学机械工程学院	92	1696	24.0	35.0
2	贺敬良	北京信息科技大学机电工程学院	62	228	8.0	12.0
3	王学军	北京信息科技大学机电工程学院	6	27	3.0	5.0
4	党兰焕		4	20	2.0	4.0