纳米薄膜界面滑移现象的分子动力学模拟进展

• 作者: 曹勇 杜如虚 钟占荣 马潇均
• 来源期刊: 材料导报
• 关键词: 纳米薄膜 界面滑移现象 分子动力学
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 新材料新技术
• 页码范围: 114-118,127
• 页数: 6页
• 字数: 3942字
• 语种: 中文

摘要

随着先进制造技术的发展,许多精密系统中的薄膜厚度已经接近纳米量级.由于纳米尺度的特殊性,宏观尺度下的界面性质将不再适用,因此探索纳米尺度下的界面性质对于微机电系统(MEMS)甚至纳机电系统(NEMS)中涉及到的润滑薄膜研究具有非常重要的价值.Couette流动作为剪切驱动流动的原形,在研究薄膜界面滑移现象上具有较高的代表性.在总结国内外该方向研究成果的基础上,详细介绍和讨论了纳米尺度薄膜Couette流动的分子动力学方法,总结了现有的滑移现象和规律,并对今后的发展进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜如虚	中国科学院香港中文大学深圳先进集成技术研究所中国科学院深圳先进技术研究院	11	103	5.0	10.0
2	曹勇	哈尔滨工业大学深圳研究生院	14	59	6.0	7.0
3	钟占荣	中国科学院香港中文大学深圳先进集成技术研究所中国科学院深圳先进技术研究院	3	56	2.0	3.0
4	马潇均	中国科学院香港中文大学深圳先进集成技术研究所中国科学院深圳先进技术研究院	1	5	1.0	1.0