单室沉积高效非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的研究

• 作者: 孙建 岳强 张德坤 张晓丹 林泉 熊绍珍 王光红 耿新华 许盛之 赵颖 郑新霞 魏长春
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 非晶硅/微晶硅叠层电池 单室 甚高频
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 8231-8236
• 分类号: TM91
• 语种: 中文

摘要

采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,在前期单室沉积的微晶硅薄膜太阳电池和非晶硅/微晶硅叠层太阳电池研究的基础上,通过对微晶硅底电池本征层硅烷浓度的优化,获得了初始效率达到11.02%(电池面积1.0 cm2)的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池.同时,100 cm2的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的组件效率也达到了9.04%.