氢化硅薄膜光吸收近似特性研究

• 作者: 丁建宁 凌智勇 叶枫 杨继昌 王书博 王秀琴 程广贵 范慧娟 袁宁一 郭立强
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 化学
• 关键词: 氢化硅薄膜 光吸收系数 光吸收模型
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 8184-8190
• 分类号: O6
• 语种: 中文

摘要

利用等离子体化学气相沉积系统在直流电压源和射频源的双重激励下,以康宁7059玻璃为衬底制备了氢化硅薄膜.通过测定氢化硅薄膜Raman光谱,对薄膜微结构进行了表征;建立氢化硅薄膜的光吸收模型,计算出薄膜的光吸收系数和光学带隙,和实验结果基本一致,说明该模型符合实验结果;并利用该模型计算的光吸收系数和光学带隙,结合AMPS软件对设计的太阳电池结构进行了模拟,给出的Ⅰ-Ⅴ特性曲线变化趋势与实验结果基本符合,同时对实验结果与模拟结果存在差异的原因进行了分析,并给出合理解释.