CeO2掺杂ZnO薄膜制备和紫外吸收性能

• 作者: 张韬 徐新 徐芸芸 李争鸣
• 来源期刊: 科技导报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 ZnO薄膜 掺杂 紫外吸收
• 年，卷（期）: 2010,（21）
• 页码范围: 26-29
• 分类号: TB383
• 字数: 2924字
• 语种: 中文

摘要

研究射频磁控溅射技术制备的CeO2掺杂ZnO薄膜的结构及紫外光吸收性能.结果显示,ZnO(002)晶面的晶面间距增大,由于晶格畸变的增加导致薄膜中的内应力也相应增加,随着CeO2掺入量的增加,引起ZnO晶格的进一步松弛,因此ZnO将呈混晶方式生长:由于ZnO的晶粒同时有多个生长方向,因而抑制了ZnO晶粒(002)取向生长度的速度,导致了晶粒尺寸的逐渐降低,薄膜的C轴择优取向性随CeO2含量的升高而降低.CeO2掺杂样品与纯ZnO薄膜的吸收谱的形状没有大的改变,吸收峰形基本一致,掺CeO2使薄膜的紫外吸收显著增强,吸收边明显向短波方向移动,吸收边的斜率有微小提高.吸收峰宽度略微增大,吸收强度增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐新	徐州空军学院航空油料物资系	20	55	4.0	6.0
2	李争鸣	徐州空军学院航空油料物资系	10	49	2.0	7.0
3	张韬	徐州空军学院航空油料物资系	23	62	3.0	6.0
4	徐芸芸	徐州空军学院航空油料物资系	17	33	3.0	4.0