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一种新颖的实现纳米条纹沉积方法研究
一种新颖的实现纳米条纹沉积方法研究
作者:
张文涛
朱保华
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
原子光刻
激光偶极力
原子沉积
摘要:
利用近共振激光驻波场操纵中性原子实现纳米量级条纹沉积技术是一种新型的研制纳米结构长度传递标准的方法,采用了一种新颖的方法,通过预准直孔的设定,将原子束在空间分成三部分,利用中间部分的原子束和近共振激光驻波场相互作用,在激光驻波场辐射压力作用下使原子按照特定周期沉积在基板上,从而实现纳米条纹的制作.利用两侧部分的原子束与探测激光束相互作用,通过其感生荧光来监测中间部分原子束沉积过程中的准直效果,从而为原子的沉积过程提供实时的原子束特性监测.最后对纳米沉积条纹在经由三狭缝预准直结构作用前后的效果进行了三维仿真,结果表明,未采用该三狭缝预准直结构时,纳米沉积条纹的半高宽为32 nm,对比度为8:1,而采用该三狭缝预准直结构之后,纳米沉积条纹的半高宽为6.2 nm,对比度为28:1,大大提高了纳米沉积条纹的质量.
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文献信息
篇名
一种新颖的实现纳米条纹沉积方法研究
来源期刊
物理学报
学科
物理学
关键词
原子光刻
激光偶极力
原子沉积
年,卷(期)
2010,(8)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
5392-5396
页数
分类号
O4
字数
语种
中文
DOI
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作者信息
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姓名
单位
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G指数
1
张文涛
桂林电子科技大学电子工程学院
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18.0
2
朱保华
桂林电子科技大学电子工程学院
25
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原子光刻
激光偶极力
原子沉积
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
主办单位:
中国物理学会
中国科学院物理研究所
出版周期:
半月刊
ISSN:
1000-3290
CN:
11-1958/O4
开本:
大16开
出版地:
北京603信箱
邮发代号:
2-425
创刊时间:
1933
语种:
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
总被引数(次)
174683
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