类金刚石薄膜力学特性的分子动力学模拟

• 作者: 吉利 周惠娣 权伟龙 李红轩 杜雯 赵飞 陈建敏
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石薄膜 分子动力学模拟 纳米压痕 硬度
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 页码范围: 5687-5691
• 分类号: O4
• 语种: 中文

摘要

基于Brenner-的REBO势函数,利用分子动力学方法模拟了含氢量不同的类金刚石薄膜的纳米压痕过程,依据得到的加载卸载曲线,计算了薄膜的刚度、硬度以及弹性模量.结果表明:类金刚石薄膜的硬度由氢含量和sp3键含量两个因素共同决定;当薄膜中氢含量小于39%时,薄膜硬度主要取决于sp3键含量,sp3键越多,硬度越高;当薄膜中氢含量达到52%,薄膜硬度则显著下降,此时氢的作用占据主导地位.