薄膜厚度系统的类前馈解耦PID控制

• 作者: 李廷会 李杨帆 蒋品群 隆媛媛
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 薄膜厚度系统 类前馈解耦 PID控制 多变量耦合
• 年，卷（期）: 2010,（17）
• 页码范围: 177-179,183
• 分类号: TN919-34|TP273
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2010.17.054

摘要

薄膜厚度控制系统是一个复杂的多变量耦合系统.利用相对增益矩阵对其进行了耦合性分析,并采用多变量类前馈解耦与PID控制相结合的方法,实现了系统的完全动态解耦控制.仿真结果表明,本解耦控制具有不改变主控制通道特性、控制效果好的优点,具有较大的应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋品群	广西师范大学电子工程学院	49	368	9.0	17.0
2	李廷会	广西师范大学电子工程学院	17	62	4.0	7.0
3	隆媛媛	广西师范大学电子工程学院	6	26	4.0	4.0
4	李杨帆	广西师范大学电子工程学院	4	19	3.0	4.0