溅射气氛中O2/Ar体积比对AlxOy薄膜结构及性能的影响

• 作者: 刘壮 孙智慧 林晶
• 来源期刊: 包装工程
• 学科: 工学
• 关键词: AlxOy/PET薄膜 磁控溅射 氧氩比 阻隔性
• 年，卷（期）: 2010,（15）
• 页码范围: 7-9
• 页数: 3页
• 分类号: TB333|TB484.3
• 语种: 中文

摘要

为了研制高阻隔性和适合微波加热的包装材料,在PET基底上采用射频电源,以纯Al为靶.氧气为反应气体.高纯氩气为等离子体,磁控溅射AlxOy/PET包装薄膜.红外光谱(IR)分析表明,氧化铝IR谱的峰值、强度和带宽等规律性的变化与通入的氧气量有关.XPS研究发现.Al-O伸缩振动峰的渡数越高,AlxOy中氧原子的含量越高.薄膜的阻隔性测试结果表明,AlxOy膜的Y值越大,其阻隔性能越好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林晶		40	160	7.0	11.0
2	刘壮		36	267	9.0	16.0
3	孙智慧		87	596	14.0	21.0