基于泄漏模共振的多层介质膜光栅宽角谱特性实现

• 作者: 晋云霞 汪剑鹏 范正修 邵建达 麻健勇
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 介质膜光栅 泄漏模共振 匹配层 宽角谱
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 3199-3204
• 分类号: O4
• 语种: 中文

摘要

于泄漏模共振产生多层介质膜光栅(MDG)的-1级高衍射效率的理论,重点分析了产生MDG的-1级宽衍射角谱的物理机理,提出薄匹配层能有效提高MDG的-1级衍射角谱带宽.采用傅里叶模式理论计算MDG的衍射效率,给出了中心波长为1040 nm,Littrow角37.9°附近±11°范围内衍射效率大于90%的宽角谱MDG设计结果,且设计参数具有良好的工艺宽容度.