磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究

• 作者: 于晓晨 倪磊 樊小勇 段理
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射 银掺杂 p型ZnO薄膜 光电性能
• 年，卷（期）: 2010,（24）
• 页码范围: 13-16
• 分类号: TQ13
• 字数: 2525字
• 语种: 中文

摘要

利用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜,通过改变制备条件生长了一系列样品,样品退火后呈现P型导电特性.测量了样品的结构特性、光学性质和电学性质,实验表明薄膜厚度与淀积时间、溅射功率分别呈近似线性关系;薄膜晶体质量随溅射功率、背景气压的增加而降低;退火过程是银元素形成受主的重要环节,且退火能有效提高薄膜晶体质量,改善薄膜的光学性质和电学性质.分析了这些影响的机理和来源.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊小勇	长安大学材料科学与工程学院	10	31	3.0	5.0
5	倪磊	长安大学材料科学与工程学院	7	5	2.0	2.0
9	段理	长安大学材料科学与工程学院	12	24	3.0	4.0
13	于晓晨	长安大学材料科学与工程学院	11	29	3.0	5.0