初始溅射粒子密度对烧蚀粒子密度和速度分布的影响

• 作者: 丁学成 傅广生 梁伟华 王英龙 褚立志 邓泽超
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Monte Carlo模拟 烧蚀粒子 密度分布 速度分布
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 3331-3335
• 分类号: O4
• 语种: 中文

摘要

采用蒙特-卡罗(Monte carlo)模拟方法,研究了初始溅射粒子密度对其传输中的密度和速度分布以及环境气体密度分布的影响.结果表明,随着初始溅射粒子密度增大,烧蚀粒子和环境气体高密度峰的交叠区离开靶的最大距离减小,被衬底反弹后,距靶的最小距离减小,烧蚀粒子的速度分布随初始溅射粒子密度增大而变宽,当初始溅射粒子密度大于8.33×1025 m-3时,出现速度劈裂现象.所得结论为进一步定量研究纳米晶粒的成核机理提供了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅广生	河北大学物理科学与技术学院	184	817	13.0	17.0
2	邓泽超	河北大学物理科学与技术学院	48	123	6.0	8.0
3	褚立志	河北大学物理科学与技术学院	47	155	7.0	10.0
4	丁学成	河北大学物理科学与技术学院	44	89	5.0	7.0
5	梁伟华	河北大学物理科学与技术学院	36	92	6.0	8.0
6	王英龙	河北大学物理科学与技术学院	96	301	9.0	12.0