溶胶-凝胶法制备Li-N双掺P型ZnO薄膜的结构、光学和电学性能

• 作者: 李刚 王德义 赵鸣 高书霞
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Li-N双掺 p型ZnO薄膜 溶胶-凝胶 性能
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 3473-3480
• 分类号: O4
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法在n型Si(100)衬底上沉积Li-N双掺杂ZnO薄膜,经X射线衍射和扫描电镜图片分析,所制备薄膜具有多晶纤锌矿结构和高的c轴择优取向.室温下霍尔效应测试结果显示Li-N双掺杂ZnO薄膜具有p型导电特性.在Li掺杂量为15.0at%,Li/N(摩尔比)为1:1,700℃退火等优化条件下得到的最佳电学性能结果是:电阻率为0.34 Ω·cm,霍尔迁移率为16.43 cm2/V·s,载流子浓度为2.79×1019 cm-3.另外,室温下光致发光谱显示,所制备样品具有较强的近紫外和紫光发射,而可见光区范围内与缺陷相关的深能级发射则较微弱.本文还就掺杂浓度和退火温度对薄膜的结构、光学性能以及电学性能的影响进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵鸣	烟台大学环境与材料工程学院	18	174	7.0	12.0
2	李刚	烟台大学环境与材料工程学院	25	178	6.0	12.0
3	王德义	烟台大学环境与材料工程学院	16	177	8.0	13.0
4	高书霞	烟台大学光电信息技术学院	10	61	4.0	7.0