A novel anti-shock silicon etching apparatus for solving diaphragm release problems

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篇名	A novel anti-shock silicon etching apparatus for solving diaphragm release problems
来源期刊	中国物理B（英文版）	学科
关键词	anti-shock bulk silicon etching apparatus releasing diaphragm finite element analysis
年，卷（期）	2010,（6）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	195-199
页数	5页	分类号
字数		语种	英文
DOI

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