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摘要:
介绍了一种可进行动态微位移激光测量系统.该系统以He-Ne激光器为光源,配以去噪装置、判向变频系统、CCD视频信号的高速动态采集系统、微机处理系统及干涉图处理软件包等,基于位相调制的基本原理,实现了微位移的精确测量.与传统测量方法相比,其精度、误差、灵敏度及稳定度都有较大提高,并实现了微位移的全自动测量.
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文献信息
篇名 基于迈克尔逊干涉仪的激光CCD微位移测量系统研究
来源期刊 科学技术与工程 学科 工学
关键词 线阵CCD 位相调制 迈克尔逊干涉仪 微位移 干涉
年,卷(期) 2010,(7) 所属期刊栏目 论文
研究方向 页码范围 1628-1632
页数 5页 分类号 TN249.3
字数 3464字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1671-1815.2010.07.010
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 赵育良 39 262 10.0 14.0
2 王淑娟 7 31 3.0 5.0
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研究主题发展历程
节点文献
线阵CCD
位相调制
迈克尔逊干涉仪
微位移
干涉
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科学技术与工程
旬刊
1671-1815
11-4688/T
大16开
北京市海淀区学院南路86号
2-734
2001
chi
出版文献量(篇)
30642
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83
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113906
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