抛物面型X射线组合折射透镜聚焦性能的理论与实验研究

• 作者: 乐孜纯 伊福廷 全必胜 刘恺 刘魏 张明 朱佩平 梁中翥 梁静秋 董文 黄万霞
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 化学
• 关键词: X射线光学 X射线组合折射透镜 X射线聚焦性能 同步辐射
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 1977-1984
• 页数: 8页
• 分类号: O6
• 语种: 中文

摘要

结合衍射理论和矩阵光学方法得出抛物面型X射线组合折射透镜的光学性能指标(包括其焦距的严格表达式、薄透镜近似的判定准则、透过率和有效孔径,以及极限聚焦光斑尺寸等).采用X射线深度光刻技术实际制作了PMMA材料抛物面型X射线组合折射透镜并给出了工艺测试结果.最后在北京同步辐射装置(BSRF)上,实际构建了基于3种不同结构参数的PMMA材料抛物面型X射线组合折射透镜的微束聚焦实验系统.并实际测试了其聚焦性能,均获得了良好的聚焦效果,给出实测结果并对实测结果进行了分析和讨论.