半绝缘等离子体波导太赫兹量子级联激光器工艺研究

• 作者: 张戎 曹俊诚 谭智勇 韩英军 黎华
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 太赫兹 量子级联激光器 波导 器件工艺
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 地球物理学、天文学和天体物理学
• 页码范围: 2169-2172
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 语种: 中文

摘要

采用气态源分子束外延设备生长了GaAs/AIGaAs束缚态到连续态跃迁结构的太赫兹(THz)量子级联激光器(QCL)有源区结构,研究了半绝缘等离子体波导THz QCL的器件工艺,采用远红外傅里叶变换光谱仪以及探测器测量了器件的电光特性.器件激射频率为3.2 THz,10 K下的阈值电流密度为275 A/cm~2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黎华	信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所	2	12	2.0	2.0
2	韩英军	信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所	1	4	1.0	1.0
3	谭智勇	信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所	1	4	1.0	1.0
4	张戎	信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所	2	12	2.0	2.0
5	曹俊诚	信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所	2	12	2.0	2.0