Al含量对TiAlSiN薄膜常温及高温微观形貌的影响

• 作者: 徐可为 徐建华 王昕 马胜利
• 来源期刊: 煤矿机械
• 学科: 工学
• 关键词: 硬质薄膜 磁控溅射 表面形貌
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 所属期刊栏目: 试验·研究
• 页码范围: 54-56
• 分类号: TG151
• 字数: 1800字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0794.2010.07.023

摘要

采用弧离子增强磁控溅射(AEMS)方法制备了TiAlSiN多元硬质薄膜,研究了不同Al含量对薄膜常温及高温微观形貌的影响.结果表明,此类薄膜均具有致密的显微组织,对应于特定Al含量,薄膜表面形貌最优,缺陷最少;薄膜高温热稳定性和抗氧化能力优异,800℃未观察到明显的表面显微组织变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐可为	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	238	3333	30.0	44.0
2	马胜利	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	51	461	12.0	18.0
3	王昕	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	25	194	8.0	12.0
4	徐建华	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	4	38	3.0	4.0