低压驱动RF MEMS开关设计与模拟

• 作者: 闫闱
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: RF MEMS开关 ANSYS 优化设计 驱动电压
• 年，卷（期）: 2010,（17）
• 页码范围: 111-112
• 分类号: TN95-34
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2010.17.035

摘要

RF MEMS开关存在驱动电压高、开关时间长等问题,利用ANSYS对电容式开关加以改进,设计扭转臂杠杆与打孔电容膜相结合的新型开关.通过静电耦合与模态分析的仿真,可以在理论上改善RF MEMS开关的射频性能,并有工艺的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫闱	南京信息工程大学电子与信息工程学院	7	16	2.0	4.0