X波段MEMS分布式移相器开关机电性能研究

• 作者: 张晓升 李仁锋 杜亦佳 鲍景富
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: X波段 射频微机电 分布式移相器 机电耦合性能
• 年，卷（期）: 2010,（13）
• 所属期刊栏目: 军事通信
• 页码范围: 1-3
• 分类号: TN911
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2010.13.001

摘要

介绍一种应用于X波段MEMS分布式移相器的新型单元开关.MEMS分布式移相器具有高品质因数、低插损、低功耗和高隔离度的优点,但由于传统MEMS开关采用固支梁结构,弹性系数过大,下拉电压过高,无法与传统电子系统相兼容,大大限制了其应用和发展.基于此设计一种新型单元开关,采用弹性弯曲结构取代传统固支梁结构,并在MEMS金属梁上刻蚀释放孔,极大降低了单元开关的弹性系数,从而实现了超低下拉电压6 V.通过理论分析,给出MEMS开关弹性系数、下拉电压的解析公式,并使用ANSYS进行了仿真分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鲍景富	电子科技大学电子工程学院	51	296	7.0	14.0
2	杜亦佳	电子科技大学电子工程学院	8	23	2.0	4.0
3	李仁锋		9	41	4.0	6.0
4	张晓升	电子科技大学电子工程学院	1	2	1.0	1.0