基于最速下降法的可制造性模型

• 作者: 史峥 杨巍 胡志卷
• 来源期刊: 计算机工程
• 学科: 工学
• 关键词: 可制造性设计 可制造性模型 仿光刻模型
• 年，卷（期）: 2010,（20）
• 页码范围: 225-228
• 分类号: TP311
• 字数: 4526字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3428.2010.20.079

摘要

可制造性设计技术使设计者尽早得到设计版图能否被制造的信息,以减少交流等待的时间.为此,提出一种可制造性模型,用一个或者多个卷积核描述设计版图和轮廓之间的关系,用最速下降法求得,求解过程仅需要输入版图和轮廓对.实验结果表明,该模型能够对设计版图的结果进行较好的预测,与通过光刻模型仿真结果之间的误差在1.8%以内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史峥	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	51	176	7.0	11.0
2	杨巍	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	14	38	4.0	6.0
3	胡志卷	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	1	6	1.0	1.0