基于神经网络的抛光应力盘智能控制器

• 作者: 万勇建 冯永涛 杨力 范斌 陈民铀
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 应力盘 光学加工 智能控制 神经网络模型
• 年，卷（期）: 2010,（34）
• 页码范围: 47-49
• 分类号: TQ171.6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-6835.2010.34.019

摘要

提出了基于神经网络的光学抛光应力盘面形表征模型的光学抛光应力盘面型控制策略,研究在非球面光学镜面抛光过程中应力盘面形的变化,分析应力盘驱动力和面形之间的关系,建立基于模糊神经网络的面形控制系统.并通过微位移传感器阵列检测获得形数据来直接训练神经网络模型,建立应力盘驱动力与应力盘面面形变化之间关系的模型.实验表明,该控制器模型可以根据给定的应力盘面形准确输出对应驱动力的组合,并提高形变精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨力	中国科学院光电技术研究所	66	783	17.0	26.0
2	万勇建	中国科学院光电技术研究所	33	180	8.0	11.0
3	陈民铀	重庆大学电气工程学院	64	914	14.0	28.0
4	范斌	中国科学院光电技术研究所	34	161	7.0	10.0
5	冯永涛	重庆大学电气工程学院	1	5	1.0	1.0