喷淋式MOCVD反应器的传质分析及结构设计

• 作者: 李晖
• 来源期刊: 集美大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 喷淋式MOCVD反应器 传质 数理分析 结构设计
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 船舶与机械工程
• 页码范围: 212-217
• 分类号: TK121|TB43|TN304
• 字数: 4794字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7405.2011.03.011

摘要

对喷淋式MOCVD反应器中的传质过程进行了数理分析,并提出了该类型反应器的结构设计原则.数理分析显示,基片上方各点的轴向速度仅是垂直距离的函数,与径向距离无关;顶壁高度对反应室内的传质有重要影响.设计喷淋式反应器结构时,应重点考虑顶壁高度和反应室半径的选取、基片加热方式以及喷淋头结构的柔性设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晖	集美大学机械工程学院	16	82	5.0	8.0