有滞留时间约束的集束型装备在线调度问题研究

• 作者: 李林瑛 胡静涛
• 来源期刊: 控制与决策
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体制造 集柬型装备 在线调度 粒子群优化算法 滞留时间约束
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 论文与报告
• 页码范围: 37-43,48
• 分类号: TP241.2|TP278
• 语种: 中文

摘要

针对半导体制造中有滞留时间约束的集束型装备,研究了临时晶网到达时的在线调度问题,描述了调度问题域.建立了问题的数学模型,并根据模型提出了两层调度方法.外层算法通过粒子群优化过程求解临时晶网的加工顺序;内层算法在给定加工顺序的基础上,采用前向和后向递推方法获得口,行解窄问,并从可行解窄问获得最优完工时间.从理论上证明了算法的可行性,并通过仿真结果表明,该方法对求解人规模临时晶圆的调度问题足十分有效的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡静涛	中国科学院沈阳自动化研究所工业信息学重点实验室	71	928	17.0	28.0
2	李林瑛	中国科学院沈阳自动化研究所工业信息学重点实验室	3	25	3.0	3.0