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文献信息
篇名 金刚石膜中的黑色点状、块状和层状缺陷分析
来源期刊 磨料磨具通讯 学科 物理学
关键词 金刚石膜 缺陷分析 色点 层状 块状 化学气相沉积 窗口材料 显微缺陷
年,卷(期) mlmjtx_2011,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 3-7
页数 5页 分类号 O484.1
字数 语种 中文
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节点文献
金刚石膜
缺陷分析
色点
层状
块状
化学气相沉积
窗口材料
显微缺陷
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
磨料磨具通讯
月刊
河南省郑州市华山路121号
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5059
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