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摘要:
采用射频磁控溅射法,自制Li0.33La0.56TuO3陶瓷靶材,在不同基片温度下沉积了Li0.33La0.56TiO3薄膜.利用X射线衍射仪、原子力学显微镜、电化学工作站、紫外-可见分光光度计等现代测试手段,研究了基片温度对薄膜的结构、形貌、光学和电学性能的影响.结果表明:所制备的Li0.33La0.56TiO3薄膜为非晶态结构,在可见光波段具有较高的透过率;随着基片温度从50℃升高到300℃,薄膜表面更为平整致密,离子电导率逐渐增加.
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关键词热度
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文献信息
篇名 Li0.33La0.56TiO3薄膜电解质的结构和光电性能
来源期刊 武汉理工大学学报 学科 工学
关键词 磁控溅射 Li0.33La0.56TiO3薄膜 基片温度
年,卷(期) 2011,(1) 所属期刊栏目 材料科学与工程
研究方向 页码范围 11-13,17
页数 4页 分类号 TB321|O484
字数 语种 中文
DOI 10.3963/j.issn.1671-4431.2011.01.002
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 赵修建 220 2735 25.0 43.0
2 楼贤春 20 197 9.0 14.0
3 熊玉立 2 8 1.0 2.0
4 陈红萍 2 12 1.0 2.0
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研究主题发展历程
节点文献
磁控溅射
Li0.33La0.56TiO3薄膜
基片温度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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武汉理工大学学报
月刊
1671-4431
42-1657/N
大16开
武昌珞狮路122号武汉理工大学(西院)
38-41
1979
chi
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17
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86904
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