柔性聚合物基材上三维纳米问隙的制作及互连

• 作者: Chia-LingChen Mehmet R.Dokmeci Selvapraba Selvarasah 李兴辉
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性基材 纳米间隙 介质电泳 单壁碳纳米管 三维 聚对二甲苯
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 674-678
• 分类号: TB383
• 字数: 2671字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.10.011

摘要

利用普通的紫外光刻、等离子体刻蚀、剥离和薄膜技术,在生物和半导体技术兼容的柔性聚对二甲苯-C基材上制作出了三维纳米间隙结构.室温下,使用介质电泳的方法对制作的纳米间隙进行材料集成实验.在间距80 nm的间隙电极间,实现了碳纳米管的互连.Ⅰ-Ⅴ特性测试显示,互联后电极之间表现出了较好的线性导电特征.当使用的碳纳米管电泳液浓度为0.004 g/mL时,通过介质电泳方法得到连接于两电极间的碳管束的电阻约为13 kΩ.研究结果表明,这种柔性三维纳米间隙结构有望应用于柔性电子学、分子生物学和纳米材料科学等领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李兴辉	中国电子科技集团公司第十二研究所微波电真空器件国家级重点实验室	4	11	2.0	3.0