非晶硅薄膜太阳电池生产工艺的优化

• 作者: 于冬安 刘自然 张宁 王彩娜 邱美艳 邹贺祥
• 来源期刊: 应用物理
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜太阳电池 生产工艺 激光刻划 溅射 优化
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 27-31
• 页数: 5页
• 分类号: TM9

摘要

在玻璃衬底非晶硅薄膜太阳电池的生产工艺中,第二道激光刻划、溅射AZO背反射膜,溅射Al背电极及第三道激光刻划等工序,对电池板输出功率有着重要影响。本研究通过Minitab软件设计因子试验,针对玻璃衬底非晶硅薄膜太阳电池生产工艺参数进行优化。试验结果表明,在一定范围内,Al背电极溅射功率对电池板功率影响最大,随着溅射功率的增大电池板功率增加;随着第三道激光刻划电流、AZO背反射膜溅射功率以及Ar流量的增加,电池板输出功率增加;而随着第二道激光刻划电流的增加电池板功率下降。最后得到最佳的生产工艺参数。