金刚石膜中的黑色点状、块状和层状缺陷分析

• 作者: 罗迋礼
• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石膜 缺陷分析 色点 层状 块状 化学气相沉积 窗口材料 显微缺陷
• 年，卷（期）: zgcycl_2011,（1）
• 页码范围: 3-7
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1

摘要

0前言 化学气相沉积（CVD）方法制备的金刚石膜具有宽的光谱透过范围、高的热导率以及非常高的硬度，是一种极好的光学窗口材料。但是，即使在很高品质的金刚石膜中，仍常含有一种在透射光显微镜下呈现为黑色的显微缺陷。

作者信息

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1	罗迋礼		1	0	0.0	0.0