一种保护玻璃防水雾透明导电薄膜的设计与制备

• 作者: 刘红光 马永龙
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 透明导电薄膜 非平衡闭合磁场反应溅射 ITO薄膜 环境试验
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 光学薄膜
• 页码范围: 56-58,63
• 分类号: O484
• 字数: 1781字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2011.03.013

摘要

为了使光学仪器能适应低温潮湿环境,设计了一种复合型的保护玻璃防水雾透明导电薄膜.采用非平衡闭合磁场反应溅射技术在K9玻璃基底上沉积了氧化铟锡(ITO)导电膜以及复合型的透明导电膜系.采用光谱仪、方阻仪测试了样品的透射光谱以及方块电阻,并对样品进行了环境试验.结果表明,样品的光学技术指标以及抗恶劣环境性能均达到了使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马永龙		6	19	3.0	4.0