测量机滚珠丝杠Z轴伺服系统的动力学建模及补偿

• 作者: 向红标 张晨阳 李醒飞 裘祖荣 谭文斌
• 来源期刊: 天津大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 伺服系统模型 干扰力模型 跟踪误差 静差
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 精密仪器与光电子工程
• 页码范围: 291-296
• 分类号: TP273
• 字数: 2747字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0493-2137.2011.04.003

摘要

在对θFXZ型测量机Z轴伺服系统的机械结构和控制系统进行分析的基础上,建立了伺服系统的动力学模型.根据受力分析,对系统的干扰力进行建模.利用对PID参数的自适应调节和干扰力的前馈补偿,实现对系统的误差补偿.实验结果表明,补偿后的跟踪误差约为补偿前的1/4,系统静差也由原来的2μm减小到0.4μm以内.该伺服系统的动力学建模和干扰力建模能直观、有效地描述Z轴系统的运动特性,补偿方案能很好地改善系统的动态跟踪误差和控制定位精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李醒飞	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	147	1425	20.0	30.0
2	裘祖荣	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	103	985	15.0	27.0
3	向红标	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	9	200	6.0	9.0
4	谭文斌	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	17	361	11.0	17.0
5	张晨阳	天津商业大学机械工程学院	16	216	9.0	14.0