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表面波等离子体暴露下铜表面的氧化特性

表面波等离子体暴露下铜表面的氧化特性

作者：

吉田圭佑妻鹿义治山田刚治川添博光松野隆竹内新

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摘要：

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关键词云

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文献信息

篇名	表面波等离子体暴露下铜表面的氧化特性
来源期刊	材料与冶金学报	学科	工学
关键词
年，卷（期）	2011,（1）	所属期刊栏目	材料与机械工程
研究方向		页码范围	58-60,69
页数		分类号	TG17
字数		语种	中文
DOI	10.3969/j.issn.1671-6620.2011.01.011

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