滤光片对三角位移传感器测量误差的影响

• 作者: 朱万彬
• 来源期刊: 光机电信息
• 学科: 工学
• 关键词: 平行平板 非线性补偿
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 光机电研究
• 页码范围: 89-91
• 分类号: TN253
• 字数: 1052字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OMEI20112811.0089

摘要

为了提高激光位移传感器接收系统的信噪比,往往在CCD或PSD接收器前加滤光片.但是,滤光片对接收光线的折射作用将引起测量误差,而且该误差是非线性的,对于高精度位移传感器来说,这个误差是不可忽略的.设计了一种补偿方法,实验表明该方法可行.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱万彬	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	17	146	7.0	11.0