多用途、模块化哈特曼波前传感器的研制

• 作者: 刘欣悦 李宏壮 王建立 王志臣
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 哈特曼波前传感器 模块化设计 波像差检测 面形检测
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 362-365
• 分类号: TH751
• 字数: 2738字
• 语种: 中文

摘要

分析了哈特曼传感器的主要设计指标,介绍了设计研制的一种多用途、模块化哈特曼传感器,通过将传感器的主要部件,包括光源、准直镜、分光棱镜、缩束光路、微透镜阵列及相机等进行模块化设计,根据不同需求,对各模块增减或更换,实现了一套传感器多种用途的应用.并用该传感器进行了系统波像差及光学元件面形检测实验,通过与Zygo干涉仪的测量结果对比,得出该传感器测量精度λ/50RMS.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王建立	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	158	1834	23.0	32.0
2	李宏壮	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	35	251	9.0	13.0
3	王志臣	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	19	75	6.0	7.0
4	刘欣悦	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	55	475	12.0	19.0