光电器件薄膜附着力评价方法的研究进展

• 作者: 刘福浩 刘飞 叶柏松 张立瑶 李向阳 贾嘉 钱大憨 陈柳炼
• 来源期刊: 红外
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 附着力 粘接法 光电器件 测试技术
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 10-15
• 分类号: O484
• 字数: 4056字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-8785.2011.01.002

摘要

薄膜与衬底的结合性能一直备受关注.在各种情况下,薄膜的性能都依赖于其与衬底的附着力大小.为了提高附着强度,需要深刻理解附着力的机理和开发合适的附着力测试技术.从基准附着力、热力学附着能和实际附着力三个不同角度提供了附着力评价途径.作为广泛使用的附着力粘接测试技术,拉脱法和压带剥落法等方法在大量样品测试方面具有独特优势,可定性、半定量地评价薄膜附着性能.