透明导电AZO/Cu双层薄膜制备及其性能

• 作者: 叶春丽 吕建国 王钰萍
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 物理学
• 关键词: AZO 双层薄膜 光电性能 室温生长
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 757-760,765
• 分类号: O484
• 语种: 中文

摘要

采用直流磁控溅射方法在玻璃衬底上室温生长了AZO/Cu双层薄膜,Cu层厚度控制在9nm,研究了AZO层厚度对薄膜电学和光学性能的影响。当AZO层厚度为20～80nm时,AZO/Cu双层薄膜具有良好的综合光电性能,方块电阻为12～14Ω/sq,可见光平均透过率为70～75%,品质因子为2×10-3～5×10-3Ω-1。AZO/Cu双层薄膜可以观察到Cu（111）和ZnO（002）的XRD衍射峰。通过退火研究表明,AZO/Cu双层薄膜的光电性能可在400℃下保持稳定,具有良好的热稳定性。本研究制备的透明导电AZO/Cu双层薄膜具有室温制程、综合光电性能良好、结晶性能较好、稳定性高的优点,可以广泛应用于光电器件透明电极及镀膜玻璃等领域。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕建国	浙江大学材料科学与工程学系	35	769	12.0	27.0
2	王钰萍	浙江大学材料科学与工程学系	5	16	3.0	4.0
3	叶春丽	浙江大学材料科学与工程学系	6	27	3.0	5.0