聚酯膜固体径迹探测器的最佳蚀刻条件

• 作者: 张磊 徐智林 王洪超 过惠平
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 聚酯膜 蚀刻 径迹 火花计数器
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 低能加速器技术、射线技术及应用
• 页码范围: 806-809
• 分类号: TL816
• 字数: 1800字
• 语种: 中文

摘要

为研究12 μm厚聚酯膜固体径迹探测器的最佳蚀刻条件,方便固体径迹火化计数器的性能研究,本文通过三种不同的实验方法,对厚度为12μm的聚酯膜蚀刻条件进行分析研究.实验结果表明,12 μm厚聚脂膜的最佳蚀刻条件;温度60C,浓度6mol/L的KOH溶液,蚀刻时间为3h.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	过惠平		26	28	3.0	3.0
2	徐智林		4	3	1.0	1.0
3	王洪超		6	8	2.0	2.0
4	张磊		15	74	6.0	7.0