平面型24元InGaAs短波红外探测器

• 作者: 唐恒敬 李淘 李雪 程吉凤 邓洪海 邵秀梅 陈郁
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: InGaAs 平面型探测器 保护环 短波红外
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 501-504
• 分类号: TN215
• 字数: 2229字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.09.002

摘要

设计了带有保护环结构的平面型24×1 InGaAs线列短波红外探测器,利用n-i-n+型InP/Ino.53Gao.47As/InP外延材料闭管扩散制备了平面型探测器.LBIC测试显示光敏元没有明显扩大,保护环起到了有效的隔离效果；I-V测试表明器件的优值因子R0A约4.2×106Ω·cm2,在-0.1 V反向偏压下的暗电流密度约22 nA/cm2,拟合得到的理想因子接近1,说明正向电流成分主要为扩散电流；在室温20℃,器件的响应光谱在0.9～1.68 tm波段范围,其平均峰值电流响应率为1.24 A/W,平均峰值探测率为3.0×1012 cm·Hz1/2/W,量子效率接近95％,响应的不均匀性为2.63％.