脉冲阴极弧放电制备碳膜及其性能研究

• 作者: 宗泽源 施芸城 杨伟平 汪华磊
• 来源期刊: 江西科学
• 关键词: 脉冲电源 脉冲阴极弧 PLC 碳膜
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 数理科学
• 页码范围: 455-457,476
• 分类号: O461
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3679.2011.04.011

摘要

使用自行搭建的高压脉冲大电源,并且利用PLC的控制SCR触发装置产生微秒级单脉冲进行了弧光放电。在一定电压、一定气压、一定距离下,进行了薄膜制备,对薄膜进行了电镜分析和XRD分析。说明在合适的电压、气压和距离下,用该套设备可以制备出比较均匀、结晶性能比较好的薄膜。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	施芸城	东华大学理学院	21	92	6.0	9.0
2	杨伟平	东华大学理学院	1	1	1.0	1.0
3	宗泽源	东华大学理学院	2	3	1.0	1.0
4	汪华磊	东华大学理学院	1	1	1.0	1.0