ZnO/36°YX-LiTaO3结构的Love波免疫传感器灵敏度研究

• 作者: 周凤梅 宋明太 张淑仪 范理
• 来源期刊: 南京大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: Love波 波导层 免疫传感器 灵敏度
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 纪念魏荣爵院士专辑
• 页码范围: 182-188
• 分类号: O426|TB55
• 语种: 中文

摘要

对于ZnO/36°YX-LiTaO3结构的Love波免疫传感器,免疫传感实验的结果表明,不同的波导层厚度,免疫传感的灵敏度不同.同时,存在最佳ZnO波导层厚度,使得Love波免疫传感器的灵敏度达到最高.本文根据多层薄膜中弹性波传播理论,运用部分波求解方法,对ZnO/36.YX-LiTaO3结构的Love波器件的相速度及相对质量灵敏度与波导层的厚度的关系进行了数值计算.计算结果表明,当相对于波长归一化膜厚为0～0.1范围内,随着波导层厚度的增加,Love波器件在无负载和有负载条件下的相速度均随之减少;相对质量灵敏度则先随波导层厚度的增加而增加,继而随波导层厚度的增加而减少,即存在一个适当值使得Love波器件的相对质量灵敏度最大,该结果与实验基本吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范理	南京大学声学研究所近代声学实验室	7	54	3.0	7.0
2	张淑仪	南京大学声学研究所近代声学实验室	85	578	14.0	21.0
3	周凤梅	南京大学声学研究所近代声学实验室	4	43	3.0	4.0
4	宋明太	南京大学声学研究所近代声学实验室	1	3	1.0	1.0