高科技制造业工艺设备的尾气处理

• 作者: 刘建勋
• 来源期刊: 工厂动力
• 学科: 经济
• 关键词: 集成电路 洁净厂房(Cleanroom) 废气处理装置或尾气处理装置(Local Scrubber 简称:L/S)特殊气体预防性保养(PM:Preventive Maintenance) 报警(alarm)
• 年，卷（期）: gcdl_2011,（3）
• 页码范围: 59-65
• 页数: 7页
• 分类号: F124.3

摘要

本文介绍集成电路、液晶光电和薄膜太阳能等高科技制造行业中，工艺设备尾气除害用的废气处理装置以及相关产品的分类、功能、原理、处理效率、日常维护、报警处理和相关环保法律法规等。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘建勋	上海华虹NEC电子有限公司动力部	2	1	1.0	1.0