使用长脉冲高能激光对石英玻璃打孔

• 作者: 倪晓武 刘剑 张梁 戴罡 陆建
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光打孔 高能激光 长脉冲激光 石英玻璃
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 380-386
• 分类号: TN249
• 字数: 2692字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111902.0380

摘要

为了实现玻璃上的高效快速打孔,研究了使用长脉冲激光在石英玻璃上打孔的方法.通过在玻璃表面镀制ZrO2,解决了石英玻璃对1 064 nm激光吸收弱的问题.使用脉宽为1 ms,波长为1 064 nm的Nd:YAG激光在石英玻璃上打出了深为1.55 mm的锥形孔.研究了激光打孔的能效比,结果显示,当激光的能量密度为6.8 kJ/cm2左右时,打孔的效能比最大,并分析了可能的原因.根据膜层及基底的吸收系数随温度增加而增加的特性,分析了形成锥形深孔的机理.采用在玻璃的双面都增加吸收层的方法,在玻璃上加工出柱状通孔.最后,分析和讨论了吸收层的热学性质和光学性质对打孔的影响,为提高打孔效率提供了设计方案.实验结果表明,使用单脉冲ms激光能够高效地在玻璃上打出小深孔,为提高玻璃打孔效率提供了新的思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆建	南京理工大学理学院应用物理系	172	1702	21.0	27.0
2	倪晓武	南京理工大学理学院应用物理系	227	2204	23.0	31.0
3	张梁	南京理工大学理学院应用物理系	8	60	5.0	7.0
4	刘剑	南京理工大学理学院应用物理系	8	55	4.0	7.0
5	戴罡	南京理工大学理学院应用物理系	6	52	4.0	6.0