不同过渡层对钢基金刚石薄膜的影响

• 作者: 余志明 王志辉 王玲 田孟昆 魏秋平
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 高速钢 过渡层 化学气相沉积 附着性能
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 33-39
• 分类号: TG174.444
• 字数: 4833字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2011.01.008

摘要

采用超高真空热丝化学气相沉积(HFCVD)系统,以甲烷和氢气为反应气体,在高速钢W18Cr4V基体上利用3种不同的过渡层(WC、Cr、WC/Cr)制备金刚石薄膜.采用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、X射线衍射仪(XRD)、显微激光拉曼光谱仪(Raman)以及洛氏硬度计对过渡层和金刚石薄膜进行检测分析,研究了不同过渡层对金刚石薄膜形貌质量和附着性能的影响.结果表明,3种过渡层均可以有效减少钢基中Fe对金刚石薄膜的负面影响,提高金刚石的形核率;其中,采用WC/Cr过渡层时膜基间残余应力最小,仅为0.25 Gpa,附着性能最好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余志明	中南大学材料科学与工程学院	80	689	15.0	21.0
2	王志辉	中南大学材料科学与工程学院	9	131	6.0	9.0
3	魏秋平	中南大学材料科学与工程学院	35	149	7.0	9.0
4	王玲	中南大学材料科学与工程学院	45	209	9.0	12.0
5	田孟昆	中南大学材料科学与工程学院	3	22	3.0	3.0