椭圆偏振仪测试非晶薄膜热光系数研究

• 作者: 刘永 刘永智 刘爽 曾璞 陈伟
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 物理学
• 关键词: 椭偏仪 非晶硅 热光系数 Forouhi-Bloomer模型
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 77-79
• 分类号: O484.41
• 语种: 中文

摘要

在椭圆偏振仪测量原理的基础上,采用Forouhi-Bloomer模型的参数匹配模型,分析非晶硅的物理性质,利用温度与禁带宽度问的关系,得到利用椭圆偏振仪测试非晶硅薄膜热光系数的方法与非晶硅热光系数的表达式,利用相关文献对其进行验证,验证结果表明,该方法是可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘爽	电子科技大学光电信息学院	65	410	11.0	17.0
2	陈伟	电子科技大学光电信息学院	68	288	8.0	12.0
3	刘永智	电子科技大学光电信息学院	192	1583	19.0	29.0
4	刘永	电子科技大学光电信息学院	52	105	5.0	7.0
5	曾璞	电子科技大学光电信息学院	3	6	1.0	2.0