Ni-Cr薄膜换能元点火性能研究

• 作者: 任小明 刘兰 张晶鑫 王可暄 薛艳 解瑞珍
• 来源期刊: 火工品
• 关键词: Ni-Cr薄膜 桥区尺寸 发火感度
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 4-6
• 分类号: TJ450.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1480.2011.02.002

摘要

针对微火工品和微推进器集成化的发展需求,以及制作工艺与MEMS、半导体工艺相兼容并能实现低能发火的要求,对Ni-Cr薄膜换能元进行了研究,设计制作了几种不同桥区尺寸和薄膜厚度的Ni-Cr薄膜换能元,并对其电发火性能进行了测试.结果表明:在同一桥区尺寸的条件下,Ni-Cr薄膜发火感度随桥膜厚度的增加而升高;在相同的桥膜厚度下,Ni-Cr薄膜的发火感度随桥区尺寸的增大而降低.