适用于微纳流控芯片对准连接的微装配系统

• 作者: 刘云亮 刘冲 徐征 王俊尧 王德佳
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微装配 微纳流控芯片 对准 暗场照明 真空吸附
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 194-198
• 分类号: O35|TH703
• 字数: 3720字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.03.012

摘要

针对微纳流控芯片等器件的对准装配问题,分析了具体操作要求,建立了一套包含显微光学观测单元、机械进给调整和器件吸取一放置等的微装配系统,采用暗场照明观测微纳结构,高精度移动平台精确调整基片与盖片之间的角度与位置,利用真空吸附的方法抓取和释放.采用该系统成功地制造了多种可用的微纳流控芯片,以玻璃微纳流控芯片的对准装配为示范开展了实验研究,对准结果表明,该系统能够完成宽53 μm,深18μm的微通道与宽3 μm,深50～260 nm的纳通道的对准连接任务.采用本系统进行芯片对准装配的方法具有仪器成本低、使用灵活和易于互换的优点,适合实验室及小批量生产使用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘冲	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	156	1345	17.0	30.0
2	徐征	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	52	292	9.0	14.0
3	王德佳	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	1	2	1.0	1.0
4	刘云亮	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	1	2	1.0	1.0
5	王俊尧	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	2	6	2.0	2.0