溶胶-凝胶法制备Al3+掺杂ZnO薄膜的结构和光学性能

• 作者: 刘新近 唐利斌 姬荣斌 宋立媛 庄继胜 杨宇 王茺 陈雪梅
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO:Al薄膜 紫外-可见光透射光谱(UV-Vis transmittance spectrum) 扫描电镜(SEM)
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 80-84
• 分类号: TN213
• 字数: 2343字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.02.004

摘要

采用无机盐溶胶-凝胶方法在载玻片衬底上制备了ZnO:Al薄膜,利用X射线衍射(XRD)、紫外-可见光透射光谱(UV-Vis transmittance spectrum)和扫描电镜(SEM)研究了退火温度和Al3+掺杂浓度对ZnO:Al薄膜结构和光学性能的影响.结果表明,随退火温度的升高或进行适当浓度的Al3+掺杂,可使(002)衍射峰的强度增强,晶粒尺寸增大,半高宽减小,薄膜的结晶质量明显改善,且可见光透过率高.