一种MEMS加速度传感器在自由落杆下冲击特性测试与分析

• 作者: 徐栋 方岚 郑宇
• 来源期刊: 集成电路通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度传感器 自由落杆冲击 碰撞 灵敏度 冲击响应
• 年，卷（期）: jcdltx_2011,（1）
• 页码范围: 45-50
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.1

摘要

按照敏感原理，MEMS加速度传感器一般被分为压阻式、压电式、谐振器式、电容式、热电偶式、光纤式和电磁式等等，其中压阻式加速度传感器以动态响应特性及输出线性度较好、制作成本低、工艺简单等优点被广泛应用。对压阻式加速度传感器静态、动态特性检测方法有很多，常用的静态测试方法有翻转法、离心机、分度头、位移测试装置等，动态特性检测则根据器件量程不同测试环境存在差异，对于小量程的传感器常采用激震台装置，高量程的传感器则采用冲击法来完成。本文主要介绍了在自由落杆冲击装置下，一种自制高量程MEMS压阻式加速度传感器的冲击响应特性测试与分析。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方岚		13	0	0.0	0.0
2	郑宇		5	0	0.0	0.0
3	徐栋		3	0	0.0	0.0